Trimethylsilan

Technology
12 hours ago
8
4
2
Avatar
Author
Albert Flores

Trimethylsilan je organokřemičitá sloučenina se vzorcem (CH3)3SiH, patřící mezi trialkylsilany. Vazba Si-H se vyznačuje vysokou reaktivitou. Tato látka se používá jako činidlo, i když méně často než triethylsilan, který je za pokojové teploty kapalný.

Trimethylsilan se používá při výrobě polovodičů k tvorbě dielektrických a bariérových vrstev chemickou depozicí z plynné fáze obohacenou plazmatem (PE-CVD).

Také slouží jako zdrojový plyn při výrobě TiSiCN povlaků a k ukládání vrstev karbidu křemíku nízkotlakou chemickou depozicí z plynné fáze (LP-CVD)za poměrně nízkých teplot pod 1000 °C. Je drahý, ale bezpečnější než silan (SiH4); vlastnosti povlaků vytvořených pomocí něj nelze nahradit jinými zdrojovými plyny obsahujícími křemík a uhlík.

...

Odkazy

Reference

Související články

Dimethylsilan * Trimethylsilyl

Externí odkazy

Kategorie:Karbosilany Kategorie:Trimethylsilylové sloučeniny

5 min read
Share this post:
Like it 8

Leave a Comment

Please, enter your name.
Please, provide a valid email address.
Please, enter your comment.
Enjoy this post? Join Cesko.wiki
Don’t forget to share it
Top