Microlithography

Microlitografie je technologie, která se používá k výrobě malých vzorů a struktur na povrchu různých materiálů, především v oblasti mikroelektroniky a výrobě polovodičových zařízení. Tato metoda zahrnuje aplikaci fotorezistů a použití UV světla k exponování a vyvolání vzorů na substrátu. Microlitografie je klíčová pro výrobu integrovaných obvodů, kdy umožňuje dosáhnout velmi malých rozměrů a vysoké přesnosti při tisku vzorů. Mezi hlavní techniky microlitografie patří konvenční fotolitografie, litografie s extrémní ultravioletní (EUV) a litografie s elektronovým paprskem (EBL). Vývoj microlitografie hraje zásadní roli v pokroku v oblasti nanotechnologií a zvyšování výkonu elektronických zařízení.